Fyrsti fjöldaframleiðslubúnaðurinn fyrir flúorsýruhreinsun í Kína var fluttur inn í pallborðsverksmiðjuna með góðum árangri

Hreinsun flúorsýru er lykilhlekkur í skjáferlinu. Hreinsunaráhrif þess hafa bein áhrif á endanlega afköst, skilvirkni og stöðugleika uppbyggingar tækisins og eru tengd ávöxtunarhraða lokaafurðarinnar. Hreinsun flúorsýru fjarlægir ekki aðeins óhreinindi á yfirborði virka lagsins heldur gerir yfirborðið óvirkt og dregur þar með úr aðsogsgetu óhreininda í viðmótum. Kröfur um hreinleika yfirborðs eru mjög strangar og leyfa fræðilega ekki að vera til staðar agnir, málmjónir eða lífræn lím. Áföst, vatnsgufu- og oxíðlög krefjast flatneskju á yfirborði á lotustigi til að tryggja vinnsluáreiðanleika eftirvinnsluferlisins.